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纳米压痕仪的主要应用和特点

发布时间:2021-07-02浏览:220次

 纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试,测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出,无需通过显微镜观察压痕面积 .

 
主要应用
半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层;防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具);药理学(药片、植入材料、生物组织);工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业。
 
技术特点
1、完全符合ISO14577、ASTME2546;
2、光学显微镜自动观察;
3、独特的热漂移控制技术;
4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据;
5、适时测量载荷大小;
6、采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容深度传感器;
7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统;
8、双标准校正:熔融石英与蓝宝石 。
 

 

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