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等离子蚀刻机的原理和应用,快来了解一下!

发布时间:2021-07-26浏览:373次

  等离子体是部分离化的中性气体,在等离子体中自由电子与中性分子,原子进行碰撞,通过碰撞电离,进一步得到更多的电子和离子。基于电子的能量,可以获得更丰富的离子,激发态高能中性粒子等,同时由于电子吸附在中性气体表面还可获得负离子。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,等离子蚀刻机用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。
 
  等离子蚀刻机的原理:等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。等离子与材料表面可产生的反应主要有两种,一种是靠自由基来做化学反应,另一种则是靠等离子作物理反应。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
 
  等离子蚀刻机的应用:由于每种气体在原子分子物理学中有各自的能级结构,故高能电子可以将气体激发到不同的能级上,当气体分子、原子从高能级向低能级回迁时将会辐射出不同能量的光子,不同能量的光子代表了不同的波长,通过分析光谱我们可以有效地分析等离子体的刻蚀过程。该分析诊断过程常被用于半导体制造中的EDP监测。蚀刻机可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。不会对人员的身体造成任何伤害。

 

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