无油涡旋真空泵的优点及应用

在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:

①. 无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空;

②. 抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源;

③. 抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小;大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低;

④. 非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小;

⑤. 结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳;

⑥. 体积小，维修方便，维护费用低;

⑦. 采用空气冷却，无需水冷。

无油涡旋真空泵应用在

①. 半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

②. 科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

③. 机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

④. 化学工业;

⑤. 医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

⑥. 包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

无油涡旋真空泵主要由5个部件组成：

①. 动静涡旋盘付与基座;

②. 曲轴;

③. 密封垫;

④. 防自转机构;

⑤.电机。