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无油涡旋真空泵的优点及应用

发布时间:2021-11-08浏览:111次

在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:


①. 无油,无摩擦——真空腔内无油,非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;

②. 抽气量大——双涡旋盘,结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;

③. 抽气效率高——带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由O型圈密封,泄漏低;

④. 非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;

⑤. 结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;

⑥. 体积小,维修方便,维护费用低;

⑦. 采用空气冷却,无需水冷。

 

 

无油涡旋真空泵应用在

①. 半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

②. 科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

③. 机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

④. 化学工业;

⑤. 医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

⑥. 包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

 

无油涡旋真空泵主要由5个部件组成:

①. 动静涡旋盘付与基座;

②. 曲轴;

③. 密封垫;

④. 防自转机构;

⑤.电机。


 

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