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干式真空泵的优点

发布时间:2021-11-18浏览:93次

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、耐可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要,因此近几年来干式真空泵发展很快,真空获得产品出现了更新换代的局面。

 

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵

 

干式真空泵的优点:

成本低:不耗油,无滴漏

稳定性:干式真空泵的性能稳定,噪音低,故障率低,因此减少维修成本。

适应力强:工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况


应用广泛

干式机械真空泵的应用范围

 

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

 

干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,得到越来越多制造和应用单位的重视,日本坚山KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。


 

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