原子力显微镜的工作原理

 

原子与原子之间的交互作用力因为彼此之间的距离的不同而不同，其之间的能量表示也会不同。

 

原子力显微镜（AFM）与扫描隧道显微镜（STM）*大的差别在于并非利用电子隧道效应，而是利用原子之间的范德华力（Van DerWaalsForce）作用来呈现样品的表面特性。假设两个原子中，一个是在悬臂（cantilever）的探针**，另一个是在样本的表面，它们之间的作用力会随距离的改变而变化，其作用力与距离的关系，当原子与原子很接近时，彼此电子云斥力的作用大于原子核与电子云之间的吸引力作用，所以整个合力表现为斥力的作用，反之若两原子分开有一定距离时，其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子云之间的吸引力作用，故整个合力表现为引力的作用。若以能量的角度来看，这种原子与原子之间的距离与彼此之间能量的大小也可从Lennard–Jones 的公式中到另一种印证。

 

·0.3纳米长期稳定

提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性

 

·260-340个站点/小时

内联应用程序的*高生产效率

减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量

 

·高达36000微米/秒

仿形速度

通过热点识别提供高分辨率3D特征

 

·*高分辨率，尖--端寿命长

InSight AFP的TrueSense®技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以*自动化地监控，具有可重复性，无需依赖测试键或模型。

 

蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制

Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。