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原子力显微镜的工作原理

发布时间:2022-11-24浏览:91次

原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig与史丹佛大学的Quate 于一九八五年所发明的,其目的是为了使非导体也可以采用扫描探针显微镜(SPM)进行观测。

 
原子与原子之间的交互作用力因为彼此之间的距离的不同而不同,其之间的能量表示也会不同。
 
原子力显微镜(AFM)与扫描隧道显微镜(STM)*大的差别在于并非利用电子隧道效应,而是利用原子之间的范德华力(Van DerWaalsForce)作用来呈现样品的表面特性。假设两个原子中,一个是在悬臂(cantilever)的探针**,另一个是在样本的表面,它们之间的作用力会随距离的改变而变化,其作用力与距离的关系,当原子与原子很接近时,彼此电子云斥力的作用大于原子核与电子云之间的吸引力作用,所以整个合力表现为斥力的作用,反之若两原子分开有一定距离时,其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子云之间的吸引力作用,故整个合力表现为引力的作用。若以能量的角度来看,这种原子与原子之间的距离与彼此之间能量的大小也可从Lennard–Jones 的公式中到另一种印证。
 
·0.3纳米长期稳定
提供NIST可追踪的参考计量,并在一年内保持测量的稳定性
 
·260-340个站点/小时
内联应用程序的*高生产效率
减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量
 
·高达36000微米/秒
仿形速度
通过热点识别提供高分辨率3D特征
 
·*高分辨率,尖--端寿命长
InSight AFP的TrueSense®技术,具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以*自动化地监控,具有可重复性,无需依赖测试键或模型。
 
蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制
Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新,包括Bruker的专有CDMode,用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量,实现了显著的成本节约。此外,AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。

 

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