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产品介绍|diener Parylene涂层系统P17了解一下

发布时间:2023-04-26浏览:142次

一、控制:

Windows PC人机交互操软件,多种语言(含中文),用户密码登陆管理权限,工艺二维折线图实时显示,一键回复原厂设置,数据备份与还原功能,数据自动存储和导入导出功能,可储存100套工艺参数

 

二、原料:沉积Parylene N、C、F-VT4型

三、沉积厚度:0.05~30um

四、沉积室直径300mm,深度300mm

五、转盘直径250mm,高度280mm,转盘转速0~100%可调节

六、集成硅烷蒸发模块,压力与温度PID控制,实现Parylene涂层前硅烷沉积功能,可设定蒸发器预加热温度,到达设定加热温度后,开始硅烷蒸发程序,同时通过腔体压力判断检测硅烷蒸发量

七、温度控制系统:

1.装料舱门温度实时显示设定范围:室温~200°C

2.蒸发器温度实时显示设定范围:室温~200°C

3.裂解舱温度实时显示设定温度范围:室温~850°C

4.沉积室温度实时显示设定温度范围: 室温~200°C

5.硅烷蒸发器及管道温度设定范围:室温~200°C

八、真空系统:

1.沉积室真空压力检测

2.真空泵压力检测

3.配有慢速抽气模块,可以设定慢速抽真空的时间;

4.双级油式旋片泵,排气速度60m3/H,极限真空泵小于1*10-3mbar,噪音52bB(A),电源AC230V

九、多重报警与报警设定功能:

1.可设定蒸发器压力最大偏差、门温度最大偏差、裂解管温度最大偏差、压力传感器温度最大偏差、腔体温度最大偏差、硅烷蒸发器温度最大偏差、硅烷管路1温度最大偏差值;

2.保养周期报警提示;

3.转盘位置错误报警;

4.详细的报警描述,方便判断报警原因;

十、冷却方式:

液氮和冷阱头两种方式

冷阱头冷却方式:风冷

冷阱头低温度-100°C,冷头尺寸:直径50mm, 长度380mm

RS485通讯模块,可以与主机通讯

冷阱尺寸:W600xD550xH1200mm

十一、尺寸与电源

  1. 外形尺寸:W1200xD700xH1100mm(不含真空泵与冷阱)

  2. 电源:AC380V 3P 32A

 

如有需要diener plasma设备 ,可联系上海尔迪仪器科技有限公司


 

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