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尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

更新时间:2023-05-12浏览:828次

一、台阶样板

该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。

台阶高度范围:10nm~100μm;

台阶区域表面粗糙度Sa:优于5.0nm;

台阶区域均匀性:优于15nm;

台阶样片尺寸:10mm×10mm。

序号

台阶标称高度

1

10nm

2

20nm

3

30nm

4

50nm

5

100nm

6

200nm

7

500nm

8

1000nm

9

2μm

10

5μm

11

10μm

12

20μm

13

50μm

14

100μm

 

二、光栅样板

该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。

样片类型:一维光栅、二维栅格

区域均匀性:优于15nm

尺寸范围:100nm10μm(一维光栅)、2μm10μm(二维栅格)

线条直线度:优于10nm

 

类型

具体结构

复合型光栅样板

包含一维结构:100nm200nm500nm1μm2μm5μm10μm

二维结构:2μm5μm10μm

微米级光栅样板

包含一维、二维光栅结构

结构尺寸:2μm5μm10μm

 


 

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