布鲁克轮廓仪的介绍及使用步骤

 

单拱门结构设计使布鲁克bruker轮廓仪更坚固，从而将环境噪音的影响降至低。DektakXT升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响，并采用现代处理器，大限度地减少噪声水平，使其成为能够测量<10nm台阶高度的更强大的系统。

 

布鲁克的Vision64软件通过提供直观、简化的用户可视化界面，加入到DektakXT的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析，还是应用自定义筛选器设置和计算，DektakXT的数据分析器都能显示当前分析结果，同时显示其他可能的分析工具。

 

测量部分包括检测器、驱动部、测量台立柱、测量台基座、除振台、架台等。

 

⑴测量台基架：用来安装需要测量的工件。

 

⑵测量台柱杆：使探针上下移动。

 

⑶柱杆手动旋钮：手动使探针上下移动。

 

⑷测量面板：用于操作测量部分。

 

⑸驱动部分：将探针沿着测量方向驱动的装置。

 

⑹驱动方向指示灯：驱动方向侧指示灯亮灯。

 

⑺驱动部分手动旋钮：用手动方法进行传感器的左右移动。

 

⑻驱动部分手动旋钮切换开关：按下此开关，便可切换驱动部分的手动旋钮的有效、无效。

 

⑼检测器：用来获取Z轴形状数据。

 

⑽探针杆：用来安装探针。

 

⑾探针：用来探测工件表面。

 

⑿测量力调整配重：为了调整测量力大小的配重。

 

⒀测量力微调紧固螺钉：用于调整测量力调整平衡块的平衡螺钉。

 

操作使用步骤：

 

①将测量力调整配重的对刻度面与本体针杆的刻度中央位置对齐。

 

②使平衡块向左右方向移动，将触针悬臂调整至平衡（向前移动4小格），在此状态下测量力为零，此时观察Z值接近于零即可，一般不可能达到绝对零。

 

③向下方向测量时，请将测量力调整配重向左移动一个刻度，测量力将变成10毫牛。

 

④向上方向测量时，请将测量力调整配重向右移动一个刻度，测量力将变成10毫牛。

 

注：1.通常的测量以10毫牛的测量力进行。

 

2.标准针杆和长度不同的针杆，其测量力与刻度都不同