简要描述:diener真空等离子清洗机Femto RIE表面清洗适用6寸以下样品的处理 用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理配置自动/手动模式,实现控制高机能桌上型,省空间适合于研究院、高校、研发中心使用
品牌 | Diener | 产地类别 | 进口 |
---|---|---|---|
应用领域 | 化工 | 外形尺寸 | W560?x?D600?x?H860mm |
电源 | AC230?V?/?16?A | 真空泵 | 排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa |
工艺气路 | 单路,双路,三路 | 工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1 |
diener真空等离子清洗机/低压等离子系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层
德国Diener electronic成立于1993年,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。
diener真空等离子清洗机用途:
·适用6寸以下样品的处理
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用
特点:
表面清洗活化
表面蚀刻
可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
参数:
扫一扫 微信咨询
©2024 上海尔迪仪器科技有限公司 版权所有 备案号:沪ICP备19038429号-5 技术支持:化工仪器网 Sitemap.xml 总访问量:121402 管理登陆