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diener真空等离子清洗机

简要描述:diener真空等离子清洗机Femto RIE表面清洗
适用6寸以下样品的处理
用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
配置自动/手动模式,实现控制高机能
桌上型,省空间
适合于研究院、高校、研发中心使用

  • 所在城市:国外
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2021-07-12
  • 访  问  量:79
详细介绍
品牌其他品牌价格区间10万-20万
产地类别进口应用领域建材,电子,综合
外形尺寸W560 x D600 x H860mm电源AC230 V / 16 A
真空泵排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa工艺气路单路,双路,三路
工艺气体O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1

diener真空等离子清洗机/低压等离子系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层

德国Diener electronic成立于1993年,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。

 diener真空等离子清洗机用途:

·适用6寸以下样品的处理 
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用

特点:

表面清洗活化
表面蚀刻

可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

 参数:

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