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Diener 等离子表面处理仪 Tetra150

简要描述:Diener 等离子表面处理仪 Tetra150特点
·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

  • 所在城市:上海市
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2021-07-06
  • 访  问  量:38
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,生物产业,农业工艺气体O2 Ar N2 Air SF6 CF4
流量计MFC /防腐型MFC不锈钢真空腔体W400xD625xH625/150L
铝合金真空腔体W400xD625xH625/150L外形尺寸WDH(mm)600x850x1700(2100)
电源AC400 V / 16 A

Diener 等离子表面处理仪 Tetra150

特点

·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

·储存多套工艺程序

·远程操控,数据导出

·模块多样化选择,多层托盘可选,处理量大

 

 

Diener 等离子表面处理仪 Tetra150规格

型号

Tetra 150

控制系统

控制方式

全自动控制(自动/手动切换)

BASIC PC

FULL PC

操作系统

Windows CE

Windows 10

触摸屏

3.5/7”

15”

工艺气体

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工艺气路

1-3(可选)

1-10(可选)

流量计

MFC /防腐型MFC

真空腔体

不锈钢W400xD625xH625/150L

铝合金W400xD625xH625/150L

电极

材质

铝/不锈钢电极

层数

1-12(可选)

1-2

1-5

真空压力计(mba)

皮拉尼传感器(0-9.99)

发生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

托盘

不锈钢/铝

实板/镂空

层数

1-12(可选)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

电源

AC400 V / 16 A

真空泵抽气速度

根据工艺选择

选配件

单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极(刻蚀)、石英舟、干泵

 

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