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Diener 等离子表面处理仪 Tetra150

简要描述：Diener 等离子表面处理仪 Tetra150特点
·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

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详细介绍

Diener 等离子表面处理仪 Tetra150

特点

·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

·储存多套工艺程序

·远程操控，数据导出

·模块多样化选择，多层托盘可选，处理量大

型号		Tetra 150
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系统	Windows CE	Windows 10
	触摸屏	3.5/7”	15”
工艺气体		O2 Ar N2 Air SF6 CF4
工艺气路		1-3（可选）	1-10（可选）
流量计		MFC /防腐型MFC
真空腔体		不锈钢W400xD625xH625/150L 铝合金W400xD625xH625/150L
电极	材质	铝/不锈钢电极
电极	层数	1-12（可选） 1-2层 1-5层
真空压力计（mba)		皮拉尼传感器（0-9.99)
发生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
托盘	不锈钢/铝	实板/镂空
托盘	层数	1-12（可选）
外形尺寸WDH（mm)		600x850x1700(2100)
电源		AC400 V / 16 A
真空泵抽气速度		根据工艺选择
选配件		单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极（刻蚀）、石英舟、干泵

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