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Diener 等离子去胶机

简要描述:Diener 等离子去胶机 Tetra42特点:
便捷的触摸屏操作界面
专用软件支持自动/手动操作模式可切换(自动模式下可储存多套工艺程序),支持操作权限分级设定
数字及图形化工艺参数控制及实时显示

  • 所在城市:上海市
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2021-07-12
  • 访  问  量:66
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,生物产业,农业控制方式全自动控制(自动/手动切换)
工艺气体O2、Ar、N2、CF4、SF6等工艺气路1-10
流量计MFC真空腔体铝合金350x350x350
真空腔体容积 42L样品台旋转样品台
外形尺寸W600xD850xH1700mm

Diener 等离子去胶机 Tetra42

特点:

·便捷的触摸屏操作界面

·专用软件支持自动/手动操作模式可切换(自动模式下可储存多套工艺程序),支持操作权限分级设定

·数字及图形化工艺参数控制及实时显示

·支持6"/8"/12" wafer的去胶清洗

·安全及异常报警功能

·多语言:法语、英语,德语,中文

 

Diener 等离子去胶机 Tetra42用途

· 去除光刻胶

· 干刻或湿刻处理前或后

· SU-8或其他环氧基树脂

· MEMS制造中去除牺牲层

· 去除光刻胶,SU-8,环氧树脂

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