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低温等离子处理设备

简要描述:低温等离子处理设备,Diener 等离子去胶机 Tetra16专用软件支持自动/手动操作模式可切换(自动模式下可储存多套工艺程序),支持操作权限分级设定

  • 所在城市:国外
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2021-07-12
  • 访  问  量:115
详细介绍
品牌其他品牌价格区间面议
样品腔尺寸250x250x250cm控制方式全自动控制(自动/手动切换)
功率1200W气路1-10
样品腔材质铝合金样品腔容积16LL
产地类别进口应用领域化工,石油,电子

低温等离子处理设备特点:

· Diener 等离子去胶机 Tetra16便捷的触摸屏操作界面

· 专用软件支持自动/手动操作模式可切换(自动模式下可储存多套工艺程序),支持操作权限分级设定

· 数字及图形化工艺参数控制及实时显示

· 支持6/8/12 wafer的去胶清洗

· 安全及异常报警功能

· Diener 等离子去胶机 Tetra16多语言:法语、英语,德语,中文

低温等离子处理设备用途:

· 去除光刻胶

· 干刻或湿刻处理前或后

· SU-8或其他环氧基树脂

· MEMS制造中去除牺牲层

·去除光刻胶,SU-8,环氧树脂

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