等离子清洗机是利用等离子体对材料表面进行清洁、活化、刻蚀等处理的精密设备，其性能稳定性直接影响处理效果。定期维护保养可有效延长设备寿命、降低故障风险、保证工艺一致性。以下是按日常维护、每周维护、每月维护、每季度/年度深度维护划分的系统保养指南，涵盖核心部件与关键流程。
一、日常维护（每次使用后/每日下班前）
日常维护以“清洁、检查、记录”为核心，避免残留污染物堆积和即时故障隐患。
1.腔体与样品台清洁
排空残留气体：处理结束后，继续通惰性气体（如Ar）1-2分钟，或开启真空泵抽气3-5分钟，排出腔体内部残留的反应性气体（如O₂、CF₄），避免腐蚀性气体滞留导致腔体锈蚀。
擦拭腔体内部：待腔体降温至室温（通常需10-15分钟），打开腔门，用无绒无尘布蘸取无水乙醇，轻轻擦拭腔体侧壁、顶盖及样品台表面，去除残留的油污、样品碎屑或等离子体反应副产物（如氟化物残渣）。
注意：禁止使用钢丝球、砂纸等硬质工具，避免划伤腔体内壁的氧化层或镀膜。
清洁样品台：若样品台有样品粘连，用塑料刮刀轻轻剥离（避免损伤台面），再用乙醇擦拭；若为金属样品台，可定期用细软毛刷清理缝隙中的粉尘。
2.外观与管路检查
设备外部清洁：用干布擦拭设备外壳、操作面板及观察窗，去除灰尘和油污；观察窗若有污渍，用乙醇擦拭后擦干，保证观察清晰度。
管路密封性检查：目视检查气体管路（进气管、排气管）是否有破损、老化，接头处是否松动（可用肥皂水涂抹接头，若有气泡产生则说明漏气）；重点检查反应性气体（如腐蚀性、易燃易爆气体）管路，发现泄漏立即关闭气瓶并更换管路。
真空泵状态检查：若为油式真空泵，观察油位是否在“MIN-MAX”刻度线之间，油色是否清澈（若油色发黑、浑浊，需及时更换真空泵油）；检查真空泵排气口是否有异常烟雾或异味，运行时噪音是否正常（异常噪音可能提示轴承磨损）。
3.数据记录
记录当日设备运行参数（如气体种类、流量、功率、处理时间、真空度）、是否出现报错提示、处理效果是否正常，为后续故障排查提供依据。
二、每周维护（每周1次，重点排查易损耗部件）
每周维护聚焦“易污染、易老化”部件，预防性能衰减。
1.真空系统深度检查
清洁真空阀门：对于手动/电动真空阀，检查阀芯是否有残渣粘连，若阀门开关卡顿，可拆解后用乙醇擦拭阀芯，晾干后重新安装（安装时确保密封件无错位）。
检查真空泵滤网：拆卸真空泵进气口的粉尘滤网，用压缩空气反向吹扫（或用清水冲洗后晾干），去除滤网中的粉尘和杂质，避免滤网堵塞导致抽真空速度下降。
测试真空度：关闭腔门后启动真空泵，记录“空载真空度”（正常应达到设备说明书规定值，如≤10Pa）和“抽真空时间”（从大气压到目标真空度的时间，若时间延长30%以上，需排查漏气或真空泵效率下降问题）。
2.气体系统维护
清洁气体流量计/质量流量控制器（MFC）：若流量计指针波动过大或显示不准，关闭气瓶后拆卸流量计入口，用压缩空气吹扫管路，去除内部杂质；MFC需避免剧烈震动，若数值漂移，可联系厂家校准（非专业人员禁止拆解）。
更换气体过滤器：对于腐蚀性或含杂质的气体（如O₂、CF₄），其管路前端的“气体过滤器”（过滤精度通常为0.2μm）需每周检查，若过滤器外壳内出现明显污渍，立即更换新过滤器，防止杂质进入腔体或MFC。
3.电极与等离子体发生器检查
清洁电极：打开腔体，检查内部电极（如平行板电极、射频电极）表面是否有积碳、氧化层或残留物，若有，用细砂纸轻轻打磨（仅限金属电极），或用乙醇擦拭；若电极出现变形、裂纹，需及时更换（电极损坏会导致等离子体分布不均）。
检查射频线缆：查看射频发生器与电极连接的线缆是否有破损、屏蔽层脱落，接头是否松动（射频接头松动会导致功率损耗，处理效果下降），必要时用专用扳手紧固接头。
三、每月维护（每月1次，聚焦精密部件与系统性能）
每月维护需深入设备内部，检查精密部件状态并校准关键参数。
1.电气系统检查
电源与线路：关闭设备总电源，检查电源线、接地线是否有破损，接线端子是否松动、氧化（用细砂纸打磨氧化端子）；检查散热风扇是否运转正常（风扇停转易导致电源模块过热烧毁），若风扇积灰，用压缩空气吹扫扇叶。
射频发生器校准：启动设备，用功率计检测射频输出功率（与设定功率的偏差应≤5%），若偏差过大，进入设备参数界面微调，或联系厂家维修（射频管老化是常见原因）。
2.密封件更换与维护
腔体密封圈（O圈）：检查腔体门密封圈、电极密封圈是否有裂纹、变形、老化（用手触摸无弹性或表面发黏即需更换），更换时先清理密封圈槽内的残留杂质，涂抹薄薄一层真空硅脂（增强密封性，延缓老化），再装入新密封圈（避免扭曲）。
真空泵密封圈：若真空泵出现漏油，检查轴端密封圈，及时更换原厂配件（非原厂密封圈可能适配性差，导致泄漏）。
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