bruker台阶仪在哪购买？

探针传感器

低惯量传感器（LIS 3）

探针压力

1到15 mg，使用LIS 3传感器

低作用力

N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg（可选）

探针选项

探针半径选项从50 nm到25 μm；

高径比（HAR）针尖200 μm x 20 μm；

可根据客户要求提供定制针尖

样品台 XY载物台

手动100 mm（4"），手动调平；

电动150 mm（6"），手动调平；

带编码器电动200 mm（8"），手动调平

样品旋转台

手动或自动，连续360°

减震装置

减震装置可用（选配）

扫描长度范围

55 mm（2"）；200 mm（8"）具备扫描拼接能力

每次扫描数据点

可达120,000个数据点

样品厚度可达

50 mm (1.95")

晶圆尺寸可达

200 mm (8")

台阶高度重复性

4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 标准台阶样品)

垂直范围

1 mm (0.039")

垂直分辨率

1 Å (@ 6.55 μm 范围)

输入电压

100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

温度范围

工作范围20到 25°C (68 到 77ºF)

湿度范围

≤80%, 无冷凝

系统尺寸与重量

尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）；

重量：34 kg（75 lb）；

外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L

x 23" W x 17.5" H）；

外壳重量：5.0 kg（11 lb）