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Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP

简要描述:Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP

——紧凑型高性能剖面仪和AFM

  • 所在城市:上海市
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2022-07-05
  • 访  问  量:505
详细介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,电子类型?全自动原子力显微镜

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight  CAP

——紧凑型高性能剖面仪和AFM

Bruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸,可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂,InSight CAP profiler可以优化配置,以获得具成本效益的计量解决方案。


·< 0.5 nm长期动态再现性

用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量


·亚纳米
CMP自动计量的灵敏度,专用碟形和腐蚀计量包,用于过程控制和开发


·<20nm
仿形平面度大于26mm
针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量


Bruker 全自动原子力显微镜 InSight  CAP

在线计量结果以分钟为单位,适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制

在高级技术节点,多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求,以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建,在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度,小于10纳米。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度,以提高生产效率,所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能,可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。

灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸,可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂,InSight CAP profiler可以优化配置,以获得具成本效益的计量解决方案。




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