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Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE
——用于几乎所有先进薄膜或产品晶片测量的先进多模计量
FilmTek™ 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了FilmTek技术，为从研发到生产的几乎所有先进薄膜测量应用提供了业界的精度、精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。
更新日期：2024-04-19访问量：2244厂商性质：经销商
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Bruker FilmTek CD椭偏仪
——多模态临界尺寸测量和先进薄膜计量学
FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案，可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和*未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。
FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中最复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。
更新日期：2024-04-18访问量：2006厂商性质：经销商
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Bruker 椭偏仪 FilmTek 2000M TSV
FilmTek™ 2000M TSV计量系统为先进的半导体封装应用提供了速度和精度组合。该系统为各种封装工艺和相关结构的高通量测量提供了测量性能和精度，包括表征抗蚀剂厚度、硅通孔（TSV）、铜柱、凸块和再分布层（RDL）。
更新日期：2024-04-18访问量：1896厂商性质：经销商
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Bruker椭偏仪 FilmTek 6000 PAR-SE
FilmTek™ 6000标准杆数-SE先进的多模薄膜计量系统在1x nm设计节点和更高的位置为广泛的薄膜层提供生产验证的薄膜厚度、折射率和应力测量监测。该系统能够在新一代集成电路的生产过程中实现更严格的过程控制，提高器件产量，并支持下一代节点技术的开发。
更新日期：2024-04-18访问量：1979厂商性质：经销商
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