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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

简要描述：Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE特点：
&amp;#183;适用6寸以下样品的处理

&amp;#183;用于塑胶材料表面的处理

&amp;#183;配置自动/手动模式，实现控制高机能

&amp;#183;桌上型，省空间

&amp;#183;适合于研究院、高校、研发中心使用

所在城市：上海市
厂商性质：经销商
更新日期：2024-04-09
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Diener

聚对二甲苯涂层常压等离子等离子蚀刻机等离子去胶机等离子体发生器等离子表面处理仪低压等离子表面处理设备查看全部产品

详细介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,农业

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

特点：

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式，实现控制高机能

·桌上型，省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

用途：

·表面清洗活化

·表面蚀刻

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE规格

型号	FEMTO RIE(防腐)*1	FEMTO RIE(防腐)*1
控制方式	按键操作控制	Windows CE 7”触摸屏操作控制
操作方式	手动	手动/自动
程序存储	—	50组
工艺过程监控	—	二维折线图与数字实时显示
程序偏离值	—	抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出
报错功能	—	显示详细的报错信息
数据导入导出	—	USB
选程控制	—	选配
工艺气路	单路，双路，三路
工艺气体	O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1
流量计	针阀流量计（可选防腐针阀流量计）*1	MFC流量计（可选防腐MFC流量计）*1
冲洗气路	一路
泄气气路	一路
真空计	指针式/0-10mbar	数字式/0-9.99mbar
计时器	0~999.9H
真空腔体	不锈钢圆形腔体盖子门带观察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L
电极	不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm
发生器	40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W
外形尺寸（WxDxH）	560 x 600 x 860mm
电源	AC230 V / 16 A
真空泵	排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa
选配功能	托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲

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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

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