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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

简要描述:Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE特点:
·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式,实现控制高机能

·桌上型,省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

  • 所在城市:上海市
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2021-07-12
  • 访  问  量:79
详细介绍
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别国产应用领域医疗卫生,环保,生物产业,农业

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

特点:

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式,实现控制高机能

·桌上型,省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

 

用途:

·表面清洗活化

·表面蚀刻

 

 

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE规格

型号

FEMTO RIE(防腐)*1

FEMTO RIE(防腐)*1

控制方式

按键操作控制

Windows CE  7”触摸屏操作控制

操作方式

手动

手动/自动

程序存储

50

工艺过程监控

二维折线图与数字实时显示

程序偏离值

抽真空时间、进气量偏差值,实际功率输出

报错功能

显示详细的报错信息

数据导入导出

USB

选程控制

选配

工艺气路

单路,双路,三路

工艺气体

O2ArN2CO2H2CF4,SF6NH3*1

流量计

针阀流量计(可选防腐针阀流量计)*1

MFC流量计(可选防腐MFC流量计)*1

冲洗气路

一路

泄气气路

一路

真空计

指针式/0-10mbar

数字式/0-9.99mbar

计时器

0~999.9H

真空腔体

不锈钢圆形腔体

盖子门带观察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容积1.7L

电极

不锈钢气浴RIE电极, Φ160mm

发生器

40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W

外形尺寸(WxDxH)

560 x 600 x 860mm

电源

AC230 V / 16 A

真空泵

排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

选配功能

托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲

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