您的位置： 首页 > 产品中心 > Diener > 等离子蚀刻机 > ZEPTO RIEDiener 等离子蚀刻机

Diener 等离子蚀刻机

简要描述：Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE特点：
&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;适用6寸以下样品的处理

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;用于塑胶材料表面的处理

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;配置自动/手动模式，实现控制高机能

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;桌上型，省空间

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;适合于研究院、高校、研发中心使用

所在城市：上海市
厂商性质：经销商
更新日期：2024-04-09
访问量：1432

产品目录

PRODUCT CENTER

Diener

聚对二甲苯涂层常压等离子等离子蚀刻机等离子去胶机等离子体发生器等离子表面处理仪低压等离子表面处理设备查看全部产品

详细介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,农业

特点：

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式，实现控制高机能

·桌上型，省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

Diener 等离子蚀刻机用途：

·表面清洗活化

·表面蚀刻

Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE规格

型号	ZEPTO RIE	Zepto RIE PCCE
控制方式	按键操作控制	Windows CE 7”触摸屏操作控制
操作方式	手动	手动/自动
程序存储	—	5组
工艺过程监控	—	二维折线图与数字实时显示
报错功能	—	显示详细的报错信息
工艺气路	双路	单路，双路
工艺气体	O2，Ar，N2，CO2，H2
流量计	针阀流量计	MFC流量计
泄气气路	一路
真空计	指针式/0-10mbar	数字式/0-9.99mbar
计时器	0-100s 0-1000s(出厂默认) 0-1000s	0~999.9H
真空腔体	不锈钢圆形腔体盖子门带观察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L
电极	不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm
发生器	40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W
外形尺寸（WxDxH）	425 x 450 x 310mm
电源	AC 230 V / 16 A
真空泵	排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

产品咨询

上一篇：Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE
下一篇：Diener 转筒型等离子表面处理仪

Diener 等离子蚀刻机

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：